Produktbeschreibung

Ein Siliziumkarbid-Keramik-Wafer-Boot ist ein wichtiges Trägerwerkzeug für die Halbleiterfertigung und Hochtemperatur-Wärmebehandlungsprozesse. Es besteht typischerweise aus hoch-reinem, hoch-dichtem, reaktions-gebundenem oder drucklos gesintertem Siliziumkarbidmaterial mit einer einzigartigen Kristallstruktur und hervorragenden physikalischen und chemischen Eigenschaften. Sein Design wird hauptsächlich zum sicheren Tragen und Transportieren von Siliziumwafern oder anderen Halbleitersubstraten bei Hochtemperaturprozessen wie Diffusion, Oxidation und chemischer Gasphasenabscheidung (CVD) verwendet.

Silicon Carbide Ceramic Wafer Boat

Produktdetails

Produktname	Siliziumkarbid-Keramik-Wafer-Boot
Farbe	Maßgeschneidert nach den Anforderungen des Kunden
Größe	Maßgeschneidert nach den Anforderungen des Kunden
Verpackung	Karton/Palette/Holzkiste (je nach Kundenanforderung)
Lieferzeit	Standardprodukt-Innerhalb von 3 Tagen
Artikeldesign	Nach Zeichnung oder Muster des Kunden
Merkmale	Gute Qualität, niedriger Preis, mehrere Fabriken, Lieferung an Sie basierend auf der Fabrik, die Ihrem Standort am nächsten liegt
Anwendung	Industriekeramik
Zertifikat	ISO, CE

Produktleistung

Außergewöhnlich hohe-Temperaturbeständigkeit: Fähig zu einem langzeitstabilen Betrieb in inerten oder oxidierenden Atmosphären bei Temperaturen über 1600 Grad. Es weist einen niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten, eine ausgezeichnete Temperaturwechselbeständigkeit auf und hält schnellen Aufheiz- und Abkühlzyklen stand.
Extreme chemische Stabilität: Zeigt eine starke Beständigkeit gegenüber den meisten Säuren, Laugen und korrosiven Gasen. Es ist besonders beständig gegen Korrosion durch Flusssäure (HF) und reagiert bei hohen Temperaturen weniger mit Prozessgasen.
Ausgezeichnete strukturelle Festigkeit und Kriechfestigkeit: Behält hohe mechanische Festigkeit und Steifigkeit bei extrem hohen Temperaturen und widersteht Selbstverformung (Hochtemperaturkriechen). Dies sorgt für einen stabilen Waferabstand und verhindert ein Verziehen oder Verkleben der Wafer.
Hohe Reinheit und geringe Kontamination: Das Material selbst ist von sehr hoher Reinheit und weist bei hohen Temperaturen nur eine minimale Migration von Metallverunreinigungen auf. Es verfügt außerdem über eine hervorragende Beständigkeit gegen Partikelbildung und minimiert so die Kontamination der Prozesskammer und der Wafer.
Gute Wärmeleitfähigkeit und elektrische Leitfähigkeit: Seine Wärmeleitfähigkeit ist den meisten Keramiken überlegen und trägt zur Temperaturgleichmäßigkeit während der Prozesse bei. Es weist außerdem eine gewisse elektrische Leitfähigkeit auf und trägt so dazu bei, die Ansammlung statischer Aufladung zu vermeiden.

Produktanwendungen

Herstellung von Halbleiterchips: Dient als zentrale Trägerkomponente in Geräten wie Diffusionsöfen, Oxidationsöfen und Niederdrucköfen (LPCVD) für kritische Hochtemperaturprozesse, einschließlich Bor/Phosphor-Diffusion, thermische Oxidation und Polysilizium/Siliziumnitrid-Abscheidung auf Siliziumwafern.
Produktion von Photovoltaik-Solarzellen: Wird in Hochtemperatur-Prozessschritten wie der Phosphordiffusion und dem Brennen bei der Herstellung von kristallinen Silizium-Solarzellen verwendet.
LED-Epitaxie-Wafer-Vorbereitung: Dient als Trägerschale für Substrate wie Saphir oder Siliziumkarbid in Geräten wie MOCVD-Reaktoren für das epitaktische Wachstum von Materialien wie GaN.
Andere Bereiche der Hochtemperatur-Wärmebehandlung: Wird auch häufig bei Hochtemperatursinter-, Wärmebehandlungs- und Transportprozessen in Bereichen wie Metallurgie, Glas, Keramik und Pulversintern verwendet.

Produktparameter

Nummer	Leistung	Einheit	Siliziumkarbid	Siliziumkarbid
			Siliziumkarbid	Siliziumkarbid
			SiSiC	SiC
1	Dichte	g/cm3	3.05	3.0-3.1
2	Biegefestigkeit	MPa	250	450-500
3	Bruchzähigkeit	MPa·m1/2	4	4
4	Dielektrizitätskonstante	εr (20 Grad, 1 MHz)	9~10	9~10
5	Härte	GPa	20	24
	Härte	HRC	85	87
6	Volumenwiderstand	Ω·cm (20 Grad)	10-2~1012	10-2~103
7	Elastizitätsmodul	GPa	330	440
8	Wärmeausdehnungskoeffizient	×10-6/k	4.5	4.1
9	Druckfestigkeit	MPa	550	2500
10	Gebrauchsspuren	g/cm2	0.01	0.01
11	Wärmeleitfähigkeit	W/m×k(20 Grad)	45	84
12	Poissonzahl	/	0.16	0.16
13	Isolationsstärke	kv/mm		100
14	Temperatur	Grad	1380	1600

Qualitätskontrolle

Unter strikter Einhaltung des ISO 9001-Qualitätsmanagementsystems implementieren wir eine vollständige -Prozessqualitätskontrolle, um die konsistente Lieferung qualitativ hochwertiger Produkte sicherzustellen:

• 100-prozentige Kontrolle der Rohstoffe, die Qualität von der Quelle an garantiert
• Nutzung fortschrittlicher Heißpress-Produktionslinien für stabile und zuverlässige Prozesse
• Ein umfassendes internes Prüfsystem, das Dichte-, Härte- und Mikrostrukturanalysen abdeckt
• Verfügbarkeit maßgeblicher Zertifizierungen Dritter-(einschließlich SGS, CE, ROHS usw., auf Anfrage erhältlich)

Wir sind weiterhin bestrebt, unser Managementsystem kontinuierlich zu verbessern und unseren Kunden eine konsistente und zuverlässige Produktsicherheit zu bieten.

certificate

Warum sollten Sie sich für uns entscheiden?

Wir sind Hersteller und Lieferant von Keramik. Wir verfügen über eine professionelle Fabrik und ein Team zur Herstellung von Siliziumkarbid-Kristallbooten. Darüber hinaus konzentrieren wir uns auf die Forschung, Entwicklung und Produktion verschiedener Keramiken und haben auch ein Unternehmen in den Vereinigten Staaten. Wir bieten einen sehr professionellen und aufrichtigen Service. Wenn Sie qualitativ hochwertige Siliziumkarbid-Keramik-Wafer-Boote oder andere Keramikhersteller und langfristige Partner in Übersee benötigen, können Sie sich gerne an uns wenden. Wir unterstützen alle Anpassungen mit hohem Schwierigkeitsgrad und werden unser Bestes tun, um Ihre Anforderungen zu erfüllen.

Wenn Sie Fragen zum Siliziumkarbid-Waferboot haben, können Sie auf klickenKontaktieren Sie unsKlicken Sie sofort auf den Button und es steht Ihnen ein professioneller Kundenservice zur Verfügung, der Ihre Fragen beantwortet.
In der Keramikindustrie bieten wir den professionellsten und aufrichtigsten Service. Wenn Sie vor dem Kauf Unklarheiten zu unseren Produkten haben, können Sie dies tunKontaktieren Sie unsjederzeit und wir werden Ihnen in kürzester Zeit antworten, um Ihre Zweifel und Bedenken auszuräumen.
Ich freue mich darauf, von Ihnen zu hören!